阿石创请求一种快速测验ITO靶材晶粒粒度的金相检测的新方法及其使用专利完成低本钱对非高纯金属靶材晶粒粒度的检测

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　　金融界 2024 年 9 月 11 日音讯，天眼查知识产权信息数据闪现，福建阿石立异资料股份有限公司请求一项名为“一种快速测验ITO靶材晶粒粒度的金相检测的新方法及其使用“，公开号 CN5.7 ，请求日期为 2024 年 6 月。

　　专利摘要闪现，本发明供给了一种快速测验ITO靶材晶粒粒度的金相检测的新方法及其使用，归于检测技术领域。本发明通过粗磨、细磨和抛光对ITO靶材进行打磨，可以取得润滑的外表，选用磷酸溶液作为酸腐蚀剂，可以使ITO靶材晶粒安排闪现出来，且不会对其形成损害；通过在较高的温度下进行腐蚀，可以加速腐蚀速率；通过操控腐蚀的时刻，可以使晶粒彻底闪现，鸿沟明晰，可以在金相显微镜下明晰快速的捕捉晶界图画，久违快速丈量得出ITO靶材晶粒粒度，本钱较低，完成了低本钱对非高纯金属靶材晶粒粒度的检测，合适大范围推广使用。