科学家使用突发叠层成像完成高功能的4纳米分辨率X射线断层扫描—小柯机器人—科学网

　　近来，瑞士保罗谢勒研讨所的Mirko Holler&Tomas Aidukas及其研讨团队获得一项新进展。经过不懈努力，他们使用突发叠层成像完成高功能的4纳米分辨率X射线断层扫描。相关研讨成果已于2024年7月31日在世界威望学术期刊《天然》上宣布。

　　该研讨团队完成了突发叠层成像，它克服了试验不稳定性并完成了更高的功能，具有4纳米分辨率和170倍的收集速率，即每秒14000个分辨率元素。另一个要害的立异是层析成像反向传达重建，使研讨人员可以比照传统景深大10倍的样本做成像。研讨人员经过交融这两项立异技能，成功地对一款最先进的（7纳米节点）商业集成电路进行了成像。

　　这款集成电路的特征在于，它由硅和金属等低密度和高密度资料制作成的纳米结构组成，在特定的X射线波长下展示出了超卓的辐射稳定性和比照度。这些才能使得研讨人员可以对芯片的规划与制作进行深化的探求，直至单个晶体管的层面。研讨人员猜测，鄙人一代X射线源中，纳米级分辨率与更高X射线通量的结合将在电子学、电化学、神经科学等多个范畴引发革命性的革新。

　　据悉，科学、医学和工程的前进依赖于成像方面的打破，特别是在从集成电路或哺乳动物大脑等功能体系获取多标准三维信息方面。完成这一方针常常要结合根据电子和光子的办法。电子显微镜经过对表层的接连破坏性成像供给纳米分辨率，而X射线计算机断层扫描供给非破坏性成像，而且最近在小体积上完成了低至7纳米的分辨率。

　　Nature：《天然》，创刊于1869年。隶属于施普林格天然出书集团，最新IF：69.504