淄博高新区决战“微米纳米高端战” 告诉你不一样的微观世界

  1厘米=10毫米，1毫米=1000微米，1微米=1000纳米。在这个肉眼看不到的微观世界，微米纳米技术科技成果已走出实验室并开始产业化，并在通信、交通、医疗、能源、环境等诸多领域给生活带来翻天覆地的变化。

  中国创新创业大赛，是由科技部、财政部、教育部、国家网信办和全国工商联共同举办的全国性创业比赛。近日，来自淄博高新区的山东申华光学科技有限公司（以下简称申华科技）纳米级薄膜铌酸锂的CMP法智能制造项目，以优异的成绩成功进入第十二届中国创新创业大赛全国赛。

  申华科技只是一个代表。在肉眼看不到的“微米纳米”微观世界，淄博高新区是如何培植创新创业生态沃土？成功的秘诀在哪里？未来，路向何方？

  中国创新创业大赛，从山东赛区报名参赛的1400多家科技型企业和创新团队、通过网上初评进入省级现场赛晋级环节的586家企业和团队中脱颖而出。申华科技，在微米纳米技术上进行抛光作业，突破认知的精细再精细。

  9月16日，记者走进位于淄博高新区的齐鲁智能微系统创新产业基地的山东申华光学科技有限公司。在恒温恒湿的洁净车间内，工人有条不紊地忙着赶制订单。晶体定向、切割、研磨、镀膜……每一道繁忙有序的生产的基本工艺，精益求精。

  “我正在做的工作就是公司新产品——铌酸锂单晶薄膜的化学机械抛光工作。虽然这一过程看起来并不富有科技感，但它的结果可不容小视，正因为有了这个抛光过程，铌酸锂单晶薄膜的制备才解决了很多‘痛点’问题。”工作人员介绍，公司纳米级薄膜铌酸锂的CMP法智能制造技术，属于国际首创，产品销售供不应求。目前，生产订单已经排到了年底。

  “传统的‘电子芯片’（硅基芯片）受摩尔定律的限制，其发展受到了很大制约。融合光子和电子优势，更新换代的‘光子芯片’具有传输速度快、功耗低等特点，是未来芯片技术的重要发展趋势。”申华科技总经理李志华说，纳米级薄膜铌酸锂是制备“光子芯片”的关键材料，由于薄膜的厚度必须要小于1微米，使得薄膜铌酸锂的制备难度非常大，成为制约“光子芯片”应用的“卡脖子”难题。

  在经济发展中，原创性引领性的创新，也正是企业所孜孜以求的。关键核心技术是要不来、买不来、讨不来的。只有把关键核心技术掌握在自己手中，企业才可以获得长足发展。

  如何有效解决这一难题？申华科技积极下好科学技术创新“先手棋”，成立了“院士、博士、学士+高级工程师”组成的研发团队。

  教授、博导、申华科技总经理李志华，向记者讲述公司纳米级薄膜铌酸锂CMP法智能制造研发技术过程。

  中国工程院院士吴以成担任山东申华光学科技有限公司技术顾问；李志华（教授、博导、申华科技总经理）负责“化学机械抛光法制备薄膜铌酸锂”项目的实施；张国春（中国科学院理化所研究员、博导）负责晶体材料性能的研究；林申旺（高工、申华科技董事长、国内知名光学器件加工专家）负责薄膜铌酸锂的超精密抛光；陈小雄（高工、国内知名镀膜专家）负责光学器件镀膜工作；在公司长期工作中有着丰富实践经验的本科生学士也纷纷加入，对薄膜铌酸锂制备技术展开了研发攻关。

  在研发过程中，申华科技的技术团队发现，目前，铌酸锂单晶薄膜制备基于Smart-Cut技术路线，这一过程分成三个阶段：第一个阶段是对铌酸锂晶圆进行氦离子注入；第二个阶段是晶圆与衬底键合及脱膜，在键合过程中通过加热，氦离子变成氦气，这层薄薄的铌酸锂单晶脱落附着在硅基衬底上；第三个阶段是表面平坦化，将薄膜铌酸锂表明上进行化学机械抛光，达到表面光滑度1纳米的要求。但是，在上述的铌酸锂单晶薄膜制备过程中存在3个“痛点”问题，离子注入对铌酸锂晶体造成损伤、制备的铌酸锂薄膜表面粗糙度太大、设备昂贵成本高且工艺复杂。

  为了完全解决这些“痛点”，申华科技成功研发了纳米级薄膜铌酸锂的CMP法智能制造技术，舍弃离子注入过程，完全解决对铌酸锂晶体造成损伤的难题，采用化学机械抛光 (CMP)直接把铌酸锂晶体加工成薄膜。

  敢于这么做的信心，来自于其雄厚的技术人才储备。申华科技成立之初就组建由院士、博士、高级工程师领衔的科研团队，公司90%的人员具有本科、专科以上学历。公司将技术创新作为公司发展的重要推动力，重点攻克多种晶体材料的超精密抛光技术，研发形成了一批具有自主知识产权的核心技术成果。截至目前，申华科技已获得授权3项国家发明专利、20项实用新型专利。

  该团队掌握的超精密抛光技术，属于国家颁布的“卡脖子”技术之一，可使光学器件表面的光滑度达到原子级别。申华科技设计制造的用于飞秒激光器的BBO超薄器件厚度5微米、光滑度小于5埃（万分之五微米），远高于国际标准加工精度要求的10埃，在国际相关领域达到领先水平。

  一招鲜，吃遍天。靠着这一独有的关键核心技术，申华科技的纳米级薄膜铌酸锂产品已畅销高校和研究所用于光子芯片的研发，亟待实现规模化生产。

  “预计公司今年的营业收入，将比去年翻一番。”李志华表示。可以说，铌酸锂单晶薄膜智造商业化，将为申华科技今后的发展插上腾飞的翅膀。

  高新技术企业研发投入占比较高，创造新兴事物的能力强，知识产权等科研成果显著。从设备投资、各项优惠政策的配套实施，到项目的快速落地及成功实施，申华科技的加快速度进行发展，是淄博高新区引领产业创新发展的一个缩影。

  这家高科技公司为什么选择淄博高新区安家落户？淄博高新区有关部门为企业未来的发展做了哪些工作？

  说起申华科技来到淄博高新区，淄博产业技术研究院功不可没。坐落于淄博科学城中试区的淄博产业技术研究院是立足地方产业创新需求设立的新型研发机构，自成立以来便聚焦解决高新技术领域的“卡脖子”问题，积极构建服务支持平台，弥补科研成果市场转化“短板”，全力链接前沿技术应用到市场路径，真正意义上打通了科技成果向市场转化“最后一公里”。

  2021年1月15日，淄博产业技术研究院正式在山东产业技术研究院通过了申华科技项目立项议案。2021年3月24日，山东产业技术研究院投委会对申华科技项目进行论证，在财务、技术和合作模式等方面提出了很多宝贵的建议。2021年3月26日，山东产业技术研究院院务会正式通过该项目。项目在山东产研院过会后，淄博产业技术研究院负责人马不停蹄将该项目推荐给淄博高新区。

  2021年4月初，淄博高新区安排专人到申华科技团队对接调研项目，了解项目发展状况以及项目的需求。经过淄博产业技术研究院、淄博高新区的不懈努力，该项目于2021年4月底落户淄博高新区仪器仪表产业园。淄博高新区匹配的2300余平方米的生产场地满足了晶体抛光和镀膜等生产需求，并给予了税收、装修补助、专家公寓等多方面的优惠政策。

  在项目的落地过程中，淄博产业技术研究院提供了全方位的“保姆式”服务，会同淄博高新区有关部门帮企业办理营业执照、刻制公章、开银行户和税务登记等。园区已有的电力设施不足以满足企业满负荷运行的要求，淄博产业技术研究院积极协调园区，提高电力设施设计标准，协调专业团队辅助公司做装修验收，安排专人帮企业招聘。

  淄博产业技术研究院会同淄博高新区教育部门协助解决林申旺孩子的上学问题，完全解决了公司发展的后顾之忧，让科研团队有更多的时间和精力专研新技术、开发新产品，扩展新市场。

  会同淄博高新区有关部门，淄博产业技术研究院积极协助企业合理规划布局申报各种知识产权，梳理申报高新技术企业的门槛，对接淄博市及高新区的最新奖励、补贴政策，对接山东产业技术研究院未来院拓展企业的商品市场等，积极引入产研博正管理学院，帮企业规划发展路径，借助媒体的信息传播优势，为公司发展赋能助力。

  良好的营商环境，淄博高新区和淄博产业技术研究院无微不至的“保姆式”服务，让申华科技“轻装上阵”，驶上了快速的提升的“快车道”。

  伴随着企业的快速的提升，淄博产业技术研究院一直在项目孵化的路上，根据公司发展阶段积极对接，引入优质资本，为企业开辟新的融资渠道。围绕申华科技高端晶体产品淄博产业技术研究也在重点引进布局激光器、传感器等晶体下游产业，努力实现延链、补链。

  “对于我们而言，并不是把高校、科研院所的成果拿来再完成一次重复，而是切实把其与当地产业需求联系起来，让企业这一创新主体参与到科技成果的转化中，形成协同创新合力。”淄博产业技术研究院院长石锡峰说。淄博产业技术研究院将健全完善运行机制，深入战略产业研究，充分用好产业技术概念验证中心这一创新载体，发挥多平台资源聚集和创新引领作用，推进重点产业化项目落地，培育特色产业集群，构建具有可复制性的淄博特色的新型研发机构建设模式，开创“小机构带动大平台、小项目带动大产业”的发展新格局。

  筑巢引凤栖，花香蝶自来。良好的营商环境既是企业未来的发展的“软环境”，也是区域发展的“硬实力”。淄博高新区助力企业心无旁骛扎根茁壮成长，企业感受映射出淄博高新区营商环境的温度，成为驱动淄博高水平发展的新引擎。

  深耕营商沃土 ，淄博高新区打造良好的企业创新创业生态，积极构筑产业高质量发展高地。

  企业是创新的主体，高新技术企业更是推动科学技术创新、经济稳步的增长和社会进步的重要力量。淄博高新区如何培育壮大高新技术企业群体规模？怎么样打造良好的企业创新创业生态？

  淄博市委十三届三次全会提出实现“3510”发展目标和“强富美优”的城市愿景，明确了依靠创新驱动进一步强化产业质效，实现“实力强”的发展路径。淄博高新区依靠创新引领、平台助力、人才供给，打造产业创新发展核心引擎的发展理念，与淄博市整体的产业高质量发展逻辑高度契合，也为科教创新赋能淄博市高水平质量的发展提供了强力支撑。

  高新技术企业拥有核心知识产权、技术优势、研发团队和自主品牌，是加快推进传统产业弯道超车、新兴起的产业换道超车的重要支撑点和增长点。

  近年来，淄博高新区格外的重视高新技术企业培育工作，不断强化政策宣讲和服务，引导区内企业不断深化大赛平台思维，积极推动优秀的企业和项目参加中国创新创业大赛。淄博高新区大力培育创造新兴事物的能力强、高成长性和拥有自主知识产权的科技型中小企业，为入库科技型中小企业量身定做“成长方案”，引导各类资源持续支持中小微企业创新发展。

  人才与技术，是一座城市、一个产业的“引擎”，而人才正是“增量”之源，高能级平台则是吸引高层次人才、建设战略科技力量的关键载体。

  淄博高新区聚焦科技招商，打造战略性新兴起的产业新赛道，坚持以专业科技招商队伍、专项支持激励政策、专线管理服务机制为抓手，着重招引培育一批高质量科技型企业、科创平台和高科技人才。

  科技创新是高水平发展的“最大增量”，科技公司孵化器在培育创新创业主体、激发科学技术创新活力等方面发挥了重要作用。

  截至目前，淄博高新区拥有各类孵化器、加速器、众创空间35家，其中，国家级孵化载体达10家，5家国家级孵化器连续2年在火炬中心对国家级科技公司孵化器考核评价中获评优秀（A类）。今年，先进陶瓷园、高分子园、生物医药研究院众创空间等6家孵化载体获得了中小微企业升级高新技术企业省级财政补助。淄博高新区坚持将产学研合作作为提升区域科学技术创新能力的重要途径和手段，不断搭建科学技术合作平台，拥有省级以上研发机构120家，院士工作站33家。大力实施高新技术企业“双培育”工程，淄博高新区高新技术企业总数已超越400余家，评价指标位列全省开发区第三位。

  紧抓科学技术创新“牛鼻子”，打好产业升级“组合拳”。淄博高新区持续深化新旧动能转换推动绿色低碳高水平质量的发展，以科学技术创新推动产业创新、以产业升级构筑竞争优势，加强完善支持体系，做好项目服务保障，为科技成果产业化转换提供更广阔的空间和更优质的服务环境，同时创建良好的企业创新创业生态，拴心留人聚英才，让科学技术人才在淄博高新区安心创业发展、多出科研成果，不断为推动淄博经济高水平发展贡献“高新力量”。

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